În procesele avansate de fabricație a semiconductorilor și{0}}de ultimă generație, sistemele de transfer de fluide joacă un rol esențial în asigurarea stabilității procesului, randamentului produsului și siguranței operaționale. Jiangsu Miracle Semiconductor Technology Co., Ltd. oferă soluții cuprinzătoare de transfer de fluide industriale concepute pentru medii controlate de-puritate, coroziune și precizie-înaltă. Soluțiile noastre acoperă calea completă a fluidelor-de la distribuția sursă până la punctul-de-utilizare-asigurând fiabilitatea, curățenia și-performanța pe termen lung în medii de proces solicitante.
Provocările industriei în sistemele de transfer de fluide
Puritate ridicată și control al contaminării
Procesele semiconductoare implică substanțe chimice ultra-pure și apă ultrapură (UPW). Chiar și urmele de ioni de metal, particule sau substanțe extractibile pot afecta direct randamentul dispozitivului. Sistemele convenționale de fluide industriale nu reușesc adesea să îndeplinească cerințele de puritate ale nodurilor de proces avansate.
Medii corozive și complexe
Multe substanțe chimice de proces, cum ar fi acizii, alcalinele și oxidanții, prezintă caracteristici corozive puternice. Componentele de transfer de fluide trebuie să mențină compatibilitatea chimică și integritatea mecanică în cazul expunerii pe termen lung-.
Funcționare continuă și fiabilitatea sistemului
Instrumentele de producție funcționează 24/7. Orice scurgere, defecțiune a conexiunii sau instabilitate a fluxului poate duce la oprirea echipamentului, la deșeuri de plachetă sau la riscuri de siguranță. Fiabilitatea ridicată a sistemului este esențială.
Design echipament compact
Echipamentele moderne de semiconductoare necesită configurații dense de conducte în spațiu limitat. Sistemele de fluide trebuie să suporte o instalare compactă, o dirijare precisă și o întreținere ușoară.
Soluții tehnice de bază
Soluții de transfer de fluide de înaltă{0}puritate
Proiectat special pentru medii de proces ultra-curate.
Selectia materialelor
- PFA, PTFE și PVDF de puritate ridicată
- Conținut scăzut de ioni metalici și extractibile minime
Calitatea suprafeței interioare
- Căi de curgere interne netede
- Aderență redusă a particulelor și retenție chimică
Aplicații tipice
- Bănci umede și unelte de curățare
- Sisteme de livrare a produselor chimice
- linii de distribuție UPW
Design-rezistent la coroziune și de durată-de lungă durată
Proiectat pentru a rezista la medii chimice agresive.
Compatibilitate chimică
Potrivit pentru HF, H₂SO₄, HCl, H₂O₂ și alte medii agresive
Proiectare structurală
- Geometrie rezistentă la stres-fisura-
- Canale interne libere-zonă-moartă
Beneficii operaționale
- Durată de viață extinsă
- Intervalele de întreținere reduse
- Costul total de proprietate mai mic
Tehnologie de conectare și etanșare de precizie
Asigură performanță fără scurgeri-în condiții de funcționare continuă.
Metode de conectare
- Conexiuni-sudate prin fuziune
- Fitinguri{0}}modulare cu conectare rapidă
- Soluții de interfață personalizate
Performanță de etanșare
- Forță de etanșare constantă
- Rezistenta la fluctuatia presiunii si cicluri termice
Avantaje
- Prevenirea micro-scurgerii
- Calitate repetabilă a asamblarii
- Suport pentru cicluri frecvente de întreținere
Suport pentru personalizare și inginerie
Jiangsu Miracle Semiconductor Technology Co., Ltd. oferă suport ingineresc puternic pe tot parcursul ciclului de viață al proiectului.
- Evaluarea compatibilității suporturilor de proces
- Suport pentru selectarea și configurarea sistemului de fluide
- Optimizarea aspectului conductelor
- Testare și validare prototip
- Documentație tehnică și ghid de instalare
Jiangsu Miracle Semiconductor Technology Co., Ltd. Soluțiile industriale de transfer de fluide oferă un management fiabil, curat și stabil al fluidelor pentru medii avansate de producție. Prin expertiză în materie de materiale, inginerie de precizie și proiectare-la nivel de sistem, ajutăm clienții să obțină operațiuni mai sigure, randament mai ridicat și stabilitate-procesului pe termen lung.
